三次元移机的另一个优点就是测量的特征多，几乎所有类型的尺寸测量，三坐标测量仪都可以进行测量，通过构造特征，更是可以对平面度，圆度，同心度等等进行检测。
三次元移机作为高精度的测量设备，其优点当然是精度高，高精度可以达到1微米，甚至更高。为了保证三坐标如此的高精度，高品质品牌的三坐标测量机的光栅尺的精度更是达到了纳米级别。还可以导入CAD数模进行脱机检测，使三坐标测量机不止有测量特征多，还具有测量速度快，效率高等优点。
针对微小，易变形的工件，难以进行测量，是三坐标测量仪的缺点。因为三坐标测量机使用的是测头探针进行接触式的测量，如果工件太细小，探针无法进行探测，或者工件为软薄等材质，接触时会发生变形等等情况，都无法使用三坐标测量机进行测量。
三坐标测量机是基于坐标测量的通用化数字测量设备。它首先将各被测几何元素的测量转化为对这些几何元素上一些点集坐标位置的测量，在测得这些点的坐标位置后，再根据这些点的空间坐标值，经过数学运算求出其尺寸和形位误差。
根据测得点的坐标值可计算出孔的圆柱度误差以及各截面圆的圆心坐标，再根据各圆心坐标值又可计算出孔轴线位置；如果再在孔端面A上触测三点，则可计算出孔轴线对端面的位置度误差。由此可见，CMM的这一工作原理使得其具有很大的通用性与柔性。从原理上说，它可以测量任何工件的任何几何元素的任何参数。
