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● 自主开发QMS3D软件，可满足不同客户的测量需求 ● 具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能 ● 采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力 ● 配置操纵手柄，亦可软件程控 ● SPC数据处理分析，大批量治具测量 ● X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳 ● 采用自主开发的嵌入式模块控制系统，将复杂的控制系统集成于仪器内部，稳定性更高 ● 程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量 ● X、Y向导轨采用高精度花岗石，具有高稳定性机刚性，不易变形 ● X、Y向移动的部分采用低摩擦、高速度、高精度的气浮移动导向系统 ● 采用气浮传动，精度高、稳定性好 ● 花岗石直线度和玻璃平面度好，花岗石导轨无摩擦、不磨损 ● 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷 ● 可选配自动变倍镜头、同轴光镜头、激光位移器、白光纳米检测模组、简易测头 | |||||
| 技术规格参数 | |||||
| 机台结构 |
| 型号 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H |
| X/Y轴行程(mm) | 800*1000 | 1000*1200 | 1200*1500 |
| 玻璃台尺寸(mm) | 885*1158 | 1170*900 | 1170*900 |
| 外形尺寸(mm) | 2170*2380*1560 | 2370*2580*1560 | 2570*2880*1560 |
| 整台重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 |
| Z轴运动行程 | 200mm |
| X/Y轴zui大速度 | 300mm/s |
| 光学系统 |
| 变倍镜头 | 进口 倍率 0.7X～4.5X |
| 光源 | 表面光源-LED表面环形光源 底光源-LED新型直线光源 |
| 光学尺分辨力 | 0.5μm |
| X/Y示值误差 | (3+L/200)μm |
| 摄像机 | 彩色1/2"CCD摄像机 |
| 激光平面度测量 | 重复性3μm(选配激光位移器时) |
| 物方视场 | 11.1mm～1.7mm |
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