三次元精度校准也就是三坐标测量机，任何形状都是由空间点组成，所有的几何测量都可以归结为空间点的测量，因此准确进行点坐标的采集，是评定任何几何形状的基础。物体的长度测量是以点的坐标为基础的，它分为空间一维、二维、三维测量，三坐标就在x、Y、z轴三个坐标位置的具体数值，根据这些点的数值经过计算机数据处理，从而得到被测零件的几何尺寸、形状偏差、位置偏差。
按照测量精度有低精度、中等精度和高精度的测量机。低精度的主要是具有水平臂的三坐标划线机。中等精度及一部分低精度测量机常称为生产型的。生产型的常在车间或生产线上使用，也有一部分在实验室使用。高精度的称为计量型，主要在计量室使用。
采用三次元精度校准检测不仅给出各点的数据，而且给出了检测图形，精度大大提高，加工时间也缩短了不少。许多工装、模板的形状和位置度公差的检测都是三坐标测量机完成的。
三坐标的使用为工厂高精度设备验收提供保证企业在引进数控柔性加工设备，除了需进行静态精度检测验收还有综合精度检测验收。都可以用三坐标测量机检测的，利用三坐标参与工厂高精度设备的验收保证了关键设备的精度又验证了关键件的加工程序，为产品质量的提高提供了保障。
几乎所有类型的尺寸测量，三坐标测量仪都可以进行测量，通过构造特征，更是可以对平面度，圆度，同心度等等进行检测。全自动三坐标测量仪使用的测量行业软件，还可以导入CAD数模进行脱机检测，使三坐标测量机不止有测量特征多，还具有测量速度快，效率高等优点。
